场发射扫描电子显微镜

仪器名称：场发射扫描电子显微镜Sigma 300

品牌：德国卡尔·蔡司股份公司

仪器功能及应用：

1. 可测试各种材料的二次电子像、背散射像、能谱、EBSD；

2. 可在低电压模式下测试不导电样品（无需喷金）；

3. 配备拉伸台，可进行高温原位拉伸状态下样品的微观形貌观察、能谱和EBSD测试。

4. 高分辨率微区形貌分析及成像，结合能谱仪可进行半定量分析；被广泛应用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。

仪器说明：

蔡司Sigma 300扫描电镜能够对各种材质的导电和不导电样品、不同尺寸和形状的样品表面微观结构进行高分辨观察。配置能谱和背散射电子衍射仪附件可以实现样品表面微观区域内的成分和织构分析。

制备要求：

1. SEM样品要求

（1）块体样品：金属块体样品可用导电胶直接固定在样品台上，确保样品与样品台良好接触；导电性差或不导电的样品需尽量将块状样品做小，并在表面引导电胶至样品台，可在低电压模式下观察，也可进行表面喷金或喷碳处理后再进行观察。

（2）粉末样品：先将导电胶带粘在样品台上，再均匀地把粉末样品撒在上面，用洗耳球吹去未粘牢的粉末，注意样品量不要过多。

（3）截面样品：将样品夹持在截面样品台上，需将样品的观察面与样品台顶面持平。

（4）所有样品必须做干燥处理；孔隙率大的样品在进入电镜前需在真空条件下储存或提前进行红外干燥处理。

2. EBSD样品要求：

（1）尺寸要求：样品应小于20 mm×20 mm，厚度超过10 mm需使用截面样品台进行固定。

（2）表面要求：表面平整、清洁、无残余应力，导电性好。可通过机械抛光、电解抛光或离子抛光进行制样。

3. 拉伸样品要求：

（1）尺寸要求：样品长度≤53mm，夹持端宽度≤10mm，厚度≤2.5mm，如样品断裂伸长率较大，应将样品长度尽量减小。

（2）其他要求：观察拉伸状态下的组织形貌需将样品表面做抛光腐蚀处理；EBSD测试需按照上述EBSD样品要求进行表面处理；测试温度范围室温至500℃。